nami66 发表于 2011-12-13 11:10:45

LED 衬底蓝宝石用高纯氧化铝工艺情报交流

氧化铝晶体导报    工艺情报交流记者李博民   高工2011-10-20

长LED蓝宝石的5N 氧化铝 ,铁必须小于5pp, 硅小于5pp, 锆小于1pp ,钛小于1pp,铜小于1ppm,镍小于1pp,钇、镓,铅、 钾、钠小于1ppm 否则不能用。
4个9的氧化铝虽然可以长出晶体,但是由于不是5n氧化铝,晶体晶棒质量就差一些。
有的长出晶体就透明度不好,不很白,易有粉色、黄色等颜色不纯。
有的即使长出较白的透明晶棒,但由于纯度不够,杂质较多,晶体存在晶格缺陷,位错大于1000,造成外延加工时候镀砷化镓晶格位错不准,做出的芯片后LED不发光,或发光率低,造成下游客户没法用。进而后期进而退货影响到晶棒的销售和认可和产品质量长久信誉。 好的晶棒做出的片、做出芯片翻发光率高于于90% 。有的厂家只有30% ,醇铝法作出的晶棒所做的芯片发光率可达90%以上。 所以并不是长出晶棒就可以了,还要镀上砷化镓后看位错数量、晶格是否匹配,看反光率亮度指标才是最关键。才能为晶棒的长期销售做个好头开个好基础。多个公司、研究机构使用VK-L100KG,VK-100G高纯氧化铝粉、粒料,都长出了优质大尺寸蓝宝石晶体 。VK-L100KG,VK-100G氧化铝纯度达到99.999%;高纯氧化铝长出的晶体位错率小于300,晶体合格率大于90%,使用率大于80%才是好的5n氧化铝原料,否则达不到质量经济指标。
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